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徐洲知道,这次的项目有多么重大的意义,不仅仅是一个横向课题而已,夸张一点儿说,甚至会影响到国家未来芯片行业的进展。

相比于之前与彼亚蒂的横向课题,这次的课题都要更加重要许多。

“这一次我们研究的课题,主要是有关芯片原材料的技术。我们需要研究出更好的集成电路硅片平坦化技术,以增加芯片加工过程的效率,保证芯片材料的质量。”

将这项研究交给宁晨和徐洲等人,是非常合适的,因为他们之前便做过很多有关硅的技术,即便放眼全国,他们也算是硅材料领域的专家了。

听到宁晨的话,徐洲也点点头说道:

“是的,为了得到准确的光刻图案,我们必须要提高硅片刻蚀层的面型精度,以及微观表面质量。对于硅片的尺寸,我们有非常严格的要求。”

除了硅片的长、宽、厚度之外,硅片的局部平坦度需要控制在50nm之内,正面的微粗程度,更是要求保持在0.1nm的水平范围上,这是一项并不容易达到的技术要求。

大家经过一番讨论之后,制定了两种主要的研究方向。

第一种研究方向,是在常用的硅片平坦化技术的基础上进行改进。

目前市面上主要的硅片平坦化技术方法,包括热流法、旋转玻璃法、回蚀法、电子环绕共振法、化学机械平坦化等等。

这其中,化学机械平坦化是最为常见,也是最为成熟的方法,在这个方法上进行改进,相对来说也会更加的容易,更有可能取得研究的突破。

而另一种研究方向,便是创造全新的硅片平坦化技术。

这种研究方向并不容易,属于一种完全的创新,所需要做的工作也会多很多,但并不容易取得什么有价值的成果。

包括宁晨在内的实验室成员,也都倾向于第一种研究方案,只是同时保留了第二种研究方向的可能。

“今天回去之后,我们都考虑一下可以尝试的方案。我们优先对于化学机械平坦化的方法进行改进,明天早上来实验室一起讨论可能的实验方案。”

一天的时间,很难做出非常详细的实验方案,当然宁晨也并不是想用一天的时间去解决方案的问题,而是可以把时间线放长一些,只是需要大家每天都进行讨论罢了。

即便是宁晨,也不能仅仅凭借自己的力量去解决各种问题,还是需要与其他人进行交流与合作。

晚上,宁晨回到自己的书房,思考起有关化学机械平坦化技术的改进方案。

宁晨先是总结着,传统化学机械平坦化方法的各种缺点,并尝试着从这些角度上进行优化。

传统的化学机械平坦化技术,因为基于游离磨料、抛光垫和硅片之间的磨损机理,工艺参数比较多、加工过程不是很稳定,不太容易实现自动化的控制,而且生产率也比较低。

与此同时,由于抛光垫是具有一定弹性的有机织物,在抛光时对表面材料去除的选择性不高,会导致产生包括过度抛光、氮化物腐蚀、碟形凹陷等各种各样的缺陷。

除此之外,传统的化学机械平坦化技术还有几种其他的缺陷,而这些都是有可能通过改进来获得提升的。

宁晨在脑海中,快速思考着这些问题的解决方式,同时结合着小智的模型化处理能力,来对自己的这些想法进行基本的测试。

经过一番高强度的分析和思考之后,宁晨突然想到了一种解决问题的方向。

“有了……如果能够在磨料中加入树脂结合剂,形成具有全新复合结构的抛光垫,代替传统化学机械平坦化技术中的游离磨粒和抛光垫,理论上就是可以达到更好的效果的!”

这样的方式,由于采用的是固结磨料抛光垫,其中并没有游离磨粒,可以大大减轻在平坦化过程中造成的磨损。

在经过小智模型化处理功能的验证之后,宁晨确定了这个方向的可行性的确很高,完全有可能解决传统化学机械平坦化技术中,存在的各项问题。

宁晨马上将整个方案整理了出来,当宁晨完成了这项工作之后,看了一眼时间,也不过才晚上十一点而已。

“真没想到,我能在今天晚上就把新的实验方案给做出来了。”

宁晨对于自己的速度也有些诧异,而且这还是在没有利用任何系统特殊技能的情况下,所达成的效果。

“看来,在脑力提升之后,我的思考速度又有了一些提升啊。”宁晨心说道。

虽然在任务刷新之后,宁晨的脑力指数也才提升了几点而已,但在脑力指数很高的时候,每一点的脑力指数提升,都可以带来非常明显的提升效果。

换做是以前,宁晨或许需要一天多的时间,才能够解决同样的问题。

第二天,大家来到实验室,徐洲按照昨天的计划,组织大家一起进行开会。

“隋枫,先说说你的方案想法吧。”

被徐洲第一个点到,隋枫明显有些不知所措。

“嗯……徐老师,我还是想先听听其他人的方案。”

其实隋枫昨天晚上并不是什么也没做,至少文档界面已经打开了,只不过只敲了“实验方案”四个字而已。

毕竟这个研究项目的级别非常之高,让隋枫一个博士生去做实验计划,确实有些强人所难了。

作为隋枫的老师,徐洲自然知道隋枫心里在想什么,继续追问道:

“没关系,今天的会议也不是让谁直接拿出完整的方案,我自己也只是有了一些不成熟的想法而已。隋枫,你昨天晚上想到了哪些,说哪些就好了。”

“嗯……我觉得还是在原有的化学机械平坦化技术上,再做出改进会更好一些,就不要考虑其他的方法了……”

被徐洲追问,隋枫也只好说了一些没什么价值的废话,徐洲知道从隋枫口中问不出什么有价值的东西,也就只好作罢了。

“好了。原帅,你来说说看吧。”

原帅明显要比隋枫准备得充分许多,拿出准备好的笔记本,认真的讲述着自己昨天晚上的各个想法。

“徐老师,宁老师,隋枫师兄,昨天我回去之后,想到了一些不成熟的方案计划,还请你们能够指导纠正。我觉得虽然传统的化学机械平坦化技术已经较为成熟,但还是存在着一些可以优化的角度。比如说,平坦化处理的效率,成本、均匀性、可靠性、工艺控制能力等等。针对这些问题,我准备的应对方案是……”

听着原帅的讲解,宁晨和徐洲都不禁微微的点着头,表示着对原帅的认同。

虽然原帅并没有提出任何完整的解决方案,但每一条建议都是有一定的参考价值的。

宁晨相信,只要给原帅足够的时间,原帅还真的有可能做出一个不错的实验方案。

听完了原帅的讲述,徐洲高兴的说道:

“不错,仅仅是一晚上的时间,就想到了这么多,而且都是一些不错的意见。这样看来,我们很可能在一周之内的时间,就完成方案的计划。”

这个速度还是非常的迅速的,因为这样级别的项目研究,持续的时间通常是几个月甚至更长的,仅仅花费一个礼拜的时间就做好方案,已经是很快的速度了。

被徐洲当面表扬,原帅也表现得很谦虚,脸上依然是一副认真严肃的表情。

隋枫则是对此有些无奈,原帅虽然还没有来实验室多久,但能力和地位上,已经在悄然间超过自己了。

不过这也是没有办法的事情,毕竟原帅平时实在是太勤奋了,加上原帅的天赋也不错,超过自己也只是时机的问题。

接下来,徐洲又说了一下自己的想法,这些想法很多都与原帅有着相似之处,当然也有一些是原帅没有想到的地方。

原帅心里也不得不承认,徐洲还是比自己强出太多了的,自己还有很多地方需要跟徐洲进行学习。

说完了自己的想法之后,徐洲继续说道:

“最后,就请宁老师讲一下实验方案吧。”

之所以把宁晨放在最后一个,是因为徐洲知道,宁晨肯定要比自己想得更多、更全面。

虽然宁晨倒不至于在一个晚上的时间里,就把详细的方案全部都列出来,但至少也能够总结出好几条有价值的意见的。

宁晨却并没有直接说自己的想法,而是把自己的笔记本电脑,连接到了实验室的大屏幕上。

“徐老师,我准备的东西有些多,还是先看一下我的这份文档吧。”

宁晨知道以自己准备的东西,几分钟是无法说得清楚的,便没有急着进行讲解。

“嗯……这当然没问题。”

说这话的时候,徐洲心里也有些诧异,宁晨到底是准备了多少东西,还用得着连大屏幕都用上。

徐洲想着,宁晨总不会真的只花一个晚上的时间,就把这么复杂的实验方案给设计出来了吧?

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