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“原因也很简单,国内没有相关专利,西方又对国内禁运EUV,甚至是dUV光刻机。哪怕是为了打破西方对该技术的垄断,国内也会鼓励相关领域的研发。至于国际专利什么的,涉及到大国博弈,专利算个屁。”周万达说的话虽然粗俗,却也是事实。

“好吧,你说的对,不过我们瑞达科技公司规模太小,研发人员有限,专业也不对口,承担不起研发EUV光刻机的重任。等我弄来了EUV的图纸,就拜托周老师替我交上去,让中科院或其它专业研究所牵头来搞吧。”光刻机这个东西,技术含量太高,涉及到的领域实在是太多,乔瑞达想要研发也力有未逮。但是那一堆的图纸,放在脑海之中发霉,简直太浪费了,干脆交上去,让国家头疼去吧。

周万达朝乔瑞达伸出一个大拇指,夸赞道:“乔同学真是深明大义,未来的某一天,国产EUV光刻机真的生产出来,绝对少不了乔同学的一份功劳。”

由于光刻机和其它一些精密设备怕震动,车队行进的速度一直提不上去,同样的路程,比平时多跑了一个多小时,直到下午两点钟,才到达德诚市。从高速路口下来之后,乔瑞达开车,引领着整个车队,慢悠悠的穿过整个市区,来到了瑞芯晶圆厂所在的南郊。

“快看,远处来了一个车队,直奔咱们厂过来了。”

“这应该就是乔总带领的车队了,嚯,这车队可真够长的,让我数数,竟然有五十多辆大货车。”

“这么多的货车,还是乔总亲自带队,都拉了一些什么东西呀?”

“听说是一批全球最顶尖的芯片生产设备,具体细节乔总没说,说是给咱们一个惊喜。”

“咱们先前从码头拉来的那批设备,就非常的先进了,浸润式dUV光刻机,28nm刻蚀机都有,完全是世界顶级水平。比这个更先进的芯片生产设备,会是一些什么东西,EUV光刻机吗?”

“别开玩笑了,怎么可能是EUV,那东西只有阿斯麦有,而且只是测试样机,能不能用来加工芯片都不好说。就算相关设备已经成熟了,也不可能出售给国内呀。”

从中午过后,林孟松就带着一众工厂高管和技术人员,来到瑞芯晶圆厂门口等待。如今一个多小时过去了,终于等来了乔瑞达,和它带领的车队。

“快,快,打开大门,将车队放进去。”林孟松指挥着工作人员,将工厂大门打开,然后亲自开着一辆电瓶巡逻车,带着车队,开进厂区,开到66号无尘车间面前。在这里早已有两辆大吨位起重机,放下支撑,等待作业,66号无尘车间的棚顶也打开了一部分,以方便设备的吊装。

乔瑞达将奔驰车停在了靠近边缘的位置,将场地让给了后面的货车。车门打开,乔瑞达、杜青青、和周万达先后下车。林孟松带着几名工厂高管,迎了过来,“乔总,杜经理,还有周教授,欢迎你们来到瑞芯晶圆厂。”

双方人员,早在瑞达电子厂的那两条芯片生产线安装调试的时候,就见过,甚至一起工作过,算的上是老熟人。

乔瑞达握住林孟松的手,说道:“最近一个月,又要维持瑞达电子厂的芯片生产,又要兼顾瑞芯晶圆厂的设备安装和调试,辛苦林总工了!”

“乔总,你太客气了,这是我的本职工作,辛苦点也是应该的。再说了,咱们这可是国内第一座28nm先进工艺晶圆厂,看着它从无到有,一点一点的建立起来,那种成就感,自豪感,简直让人太让人着迷了。”林孟松颇为自豪的说道。

乔瑞达拍拍林孟松的手,意味深长的说道:“等车上这些设备卸下来,安装到位,你会更加自豪的。”

这时候,周万达插话进来,问道:“林工,怎么没看到老师和我那些师兄弟?”

“你说的是王院士吧,他正带着团队在车间里调试设备呢。前几天,我们刚刚完成了一条芯片生产线的安装工作,目前正在进行试生产,以调整参数,提高芯片合格率。现在生产线还在开着,离不开人,王院士就带着团队,留在了那边。”林孟松开口回答道。

“哎呀,就不能找人替换一下老师吗,接下来要开箱的这套设备,可是国内独一份,错过了这个重要时刻,老师肯定后悔。”说罢,周万达拿出手机,就要给王院士打电话。

听到周万达如此说,林孟松也来了兴趣,问道:“到底是什么设备,值的如此兴师动众的?乔总,难道这就是你在电话里说的那个惊喜,看这又是空调,又是减震泡沫的,这个集装箱里,到底装了什么东西?”

“呵呵,剧透就没意思了,还是等到吊装到位,再揭晓答案吧。”乔瑞达微笑着卖了个关子,就是不说车上的设备是什么。

就在几人说话的功夫,跟在他们后面的那辆拉着EUV光刻机的货车,已经开到了空地中心。待货车停好之后,几名工作人员马上爬上车,打开集装箱和货车之间的连接装置,而后将吊装用的钢索,挂在提前预留好的钩挂上。

“好,起,起,慢一点,稳一点,向右转,对,注意车间开口的位置,平稳的放下去……”在专业人员的指挥下,集装箱顺利的转移到了无尘车间内。而后同样的步骤,应用在了后续几辆货车上。当然,并不是所有的设备,都有这个待遇,前面几台设备,太过精密,对温湿度有着严格的要求,这才需要整体吊装。后续的大多数设备,没那么精贵,都是打开集装箱,将设备卸下来,再用吊车吊进车间。

两台吊机一直忙碌了两个小时,才把所有的设备,吊进无尘车间。而后无尘车间的顶棚闭合,除尘,恒温,恒湿设备开启,等待车间内部环境达到要求,才能进行下一步的安装。

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